High Q nanomechanical resonators fabricated from crystalline silicon carbide

Alternative title
Nanomechanische Saitenresonatoren mit hoher Güte aus hochverspanntem Siliciumcarbid
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
München, Technische Universität München, Dissertation, 2022

Keyword
Siliciumcarbid
MEMS

Event
Veröffentlichung
(where)
München
(who)
Universitätsbibliothek der TU München
(when)
2022
Creator
Klaß, Yannick Sebastian
Contributor
Weig, Eva
Weig, Eva
Scheer, Elke

URN
urn:nbn:de:bvb:91-diss-20220912-1661330-1-2
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:44 PM CET

Data provider

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  • Klaß, Yannick Sebastian
  • Weig, Eva
  • Scheer, Elke
  • Universitätsbibliothek der TU München

Time of origin

  • 2022

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