Kristallfehler in integrierten Schaltkreisen aus Silizium, insbesondere in Hinblick auf Grösstintegration (VLSI)
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
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30 cm
- Umfang
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56 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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28 Ill. u. graph. Darst.
Als Ms. gedr. - Literaturverz. S. 39 - 42.
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Eggenstein-Leopoldshafen
- (wer)
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Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
- (wann)
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1982
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 14:00 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Franz, Günther
- Kolbesen, Bernd O.
- Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
Entstanden
- 1982