Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Dissertation, 2019
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Lithografie
Herstellung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Jena
- (who)
-
Friedrich-Schiller-Universität Jena
- (when)
-
2019
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.22032/dbt.39357
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20190909-160725-008
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:53 PM CET
Data provider
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Associated
- Weichelt, Tina
- Tünnermann, Andreas
- Bartelt, Hartmut
- Lindlein, Norbert
- Friedrich-Schiller-Universität Jena
Time of origin
- 2019
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