Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Dissertation, 2019
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Lithografie
Herstellung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Jena
- (wer)
-
Friedrich-Schiller-Universität Jena
- (wann)
-
2019
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.22032/dbt.39357
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20190909-160725-008
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:53 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Weichelt, Tina
- Tünnermann, Andreas
- Bartelt, Hartmut
- Lindlein, Norbert
- Friedrich-Schiller-Universität Jena
Entstanden
- 2019
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