Hochschulschrift | Online-Publikation

Investigation of ICP RF discharges by means of a Langmuir probe

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Bochum, Univ., Diss., 2005

Klassifikation
Physik
Schlagwort
Elektrostatische Welle
Elektronenverteilung
Faraday-Käfig
Hochfrequenzplasma
Rogowski-Spannungsmesser
Elektrostatische Welle
Elektronenverteilung
Faraday-Käfig
Hochfrequenzplasma
Rogowski-Spannungsmesser

Urheber

URN
urn:nbn:de:hbz:294-12915
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:23 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

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