Direct‐Patterning ZnO Deposition by Atomic‐Layer Additive Manufacturing Using a Safe and Economical Precursor

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Small 19.36 (2023). DOI:10.1002/smll.202301774
In: Small 19 : 36

Classification
Elektrotechnik, Elektronik

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2023
Creator
Stefanovic, Sonja
Gheshlaghi, Negar
Zanders, David
Kundrata, Ivan
Zhao, Baolin
Barr, Maïssa K. S.
Halik, Marcus
Devi, Anjana
Bachmann, Julien

DOI
10.1002/smll.202301774
URN
urn:nbn:de:101:1-2024030104053639830272
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 11:00 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2023

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