Hochschulschrift
Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844032178
- Dimensions
-
21 cm, 261 g
- Extent
-
174 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2014
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Silicium
Wafer
Plasmaätzen
Atmosphärendruckplasma
Solarzelle
Herstellung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:22 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- López Alonso, Elena
- Shaker
Time of origin
- 2014
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