Hochschulschrift

Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844032178
Maße
21 cm, 261 g
Umfang
174 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2014

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Silicium
Wafer
Plasmaätzen
Atmosphärendruckplasma
Solarzelle
Herstellung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
2014
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:17 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2014

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