Localized thinning for strain concentration in suspended germanium membranes and optical method for precise thickness measurement

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: AIP Advances (8:11) - Melville, NY : American Institute of Physics (AIP) - Art.-Id. 115131

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin
(wer)
Technische Universität Berlin
(wann)
2020
Urheber
Vaccaro, Pablo
Alonso, Maria Isabel
Garriga, M.
Gutiérrez, Joffre
Peró, D.
Wagner, Markus R.
Reparaz, J. S.
Sotomayor Torres, C. M.
Vidal, Xavier
Carter, E. A.
Lay, P. A.
Yoshimoto, M.
Goñi, Alejandro R.

DOI
10.14279/depositonce-9729
Handle
11303/10834
URN
urn:nbn:de:101:1-2020030401154722179312
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:56 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Vaccaro, Pablo
  • Alonso, Maria Isabel
  • Garriga, M.
  • Gutiérrez, Joffre
  • Peró, D.
  • Wagner, Markus R.
  • Reparaz, J. S.
  • Sotomayor Torres, C. M.
  • Vidal, Xavier
  • Carter, E. A.
  • Lay, P. A.
  • Yoshimoto, M.
  • Goñi, Alejandro R.
  • Technische Universität Berlin

Entstanden

  • 2020

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