Hochschulschrift

Konzeption von MOCVD-Reaktoren und CVD-Charakterisierung von tert-Butylisonitril(ε5-cyclopentadienyl)kupfer(I) [tert-Butylisonitril(eta-5-cyclopentadienyl)kupfer(I)] sowie Versuche zur Darstellung neuer Titan-Precursoren

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
X, 130 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1995

Keyword
Titanorganische Verbindungen
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemischer Reaktor
MOCVD-Verfahren
Prozessführung
Kupferkomplexe
Cyclopentadienylgruppe
MOCVD-Verfahren
Ausgangsmaterial

Creator
Heinen, Ralf

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Last update
11.06.2025, 1:54 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Heinen, Ralf

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