Hochschulschrift

Dotierung von amorphen Kohlenwasserstoffschichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
II, 107 Bl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Oldenburg, Univ., Diss., 2000 (Nicht für den Austausch)

Schlagwort
Kohlenwasserstoffe
Amorpher Zustand
PECVD-Verfahren
Dotierung
Halbleiterschicht

Urheber

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:54 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

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