Hochschulschrift
Trennen und Kontaktieren von Leitbahnen mit dem Excimerlaser zur Ausbeutesteigerung grossflächig integrierter Schaltungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826504679
3826504674
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
100 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1994
- Schlagwort
-
LSI
Leiterbahn
Kontaktieren
Excimerlaser
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:25 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hillmann-Ruge, Thomas
- Shaker
Entstanden
- 1995
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