Hochschulschrift

Photolithographie mit semitransparenten Masken : Entwicklung einer Methode zur photolithographischen Erzeugung reliefartiger Strukturen für Elemente der integrierten Optik

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783895886829
3895886823
Maße
21 cm
Umfang
XII, 120 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 1996

Schlagwort
Wellenleitertaper
Fotolithografie
Maskentechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Göttingen
(wer)
Cuvillier
(wann)
1996
Urheber
Wengelink, Jörg

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:35 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Wengelink, Jörg
  • Cuvillier

Entstanden

  • 1996

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