On-chip environmentally assisted cracking in thin freestanding SiO2 films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2044-5326
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
On-chip environmentally assisted cracking in thin freestanding SiO2 films ; day:14 ; month:4 ; year:2021 ; pages:1-16
Journal of materials research ; (14.4.2021), 1-16

Urheber
Jaddi, Sahar
Raskin, Jean-Pierre
Pardoen, Thomas
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1557/s43578-021-00189-3
URN
urn:nbn:de:101:1-2021060320400831584069
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 11:01 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Jaddi, Sahar
  • Raskin, Jean-Pierre
  • Pardoen, Thomas
  • SpringerLink (Online service)

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