Hochschulschrift
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183232093
318323209X
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 129 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 232, Reihe 9
- Schlagwort
-
Galliumarsenid
Ionenimplantation
Mikrostruktur
Intelligenter Sensor
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1996
- Urheber
-
Miao, Jianmin
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:17 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Miao, Jianmin
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1996
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