- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826571763
3826571762
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XII, 188 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1999
- Bibliographic citation
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2000,3
- Keyword
-
Halbleiterbauelement
Prozesssimulation
Softwareentwicklung
Ionenimplantation
Dotant
Tiefenverteilung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:37 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Tietzel, Klaus
- Shaker
Time of origin
- 2000
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