Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
82 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 78 - 82. - Als Ms. gedr.
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Eggenstein-Leopoldshafen
- (who)
-
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
- (when)
-
1984
- Creator
-
Bernt, Helmut
Bartholomae, Hans
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:07 PM CEST
Data provider
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Associated
- Bernt, Helmut
- Bartholomae, Hans
- Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
Time of origin
- 1984
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