Growth Monitoring of Ultrathin Copper and Copper Oxide Films Deposited by Atomic Layer Deposition
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2016
- Keyword
-
Atomic layer deposition
Copper oxide
Copper
Kupfer
Kupferoxide
Metallisierungsschicht
Reduktion
ULSI
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
2017
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-229808
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:55 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Dhakal, Dileep
- Schulz, Stefan E.
- Lang, Heinrich
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Time of origin
- 2017
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