Hochschulschrift

Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183197217
3183197219
Dimensions
21 cm
Extent
IX, 116 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss.

Bibliographic citation
Fortschritt-Berichte VDI / 21 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 197, Reihe 21

Keyword
Aluminium
Magnetronsputtern
Diffusionsgleichung
Monte-Carlo-Simulation
Wolfram
Magnetronsputtern
Diffusionsgleichung
Monte-Carlo-Simulation

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
1996
Creator

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Last update
11.06.2025, 2:03 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 1996

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