Hochschulschrift

Einbeziehung der Intrinsic-Getterung in Basistechnologien zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente auf der Grundlage von Siliciumsubstratscheiben

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
34, 10 Bl.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. B, 1988 (Nicht f.d. Austausch)

Keyword
Silizium
Mikroelektronische Bauelemente
Silicium

Creator

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Last update
11.03.2025, 11:39 AM CET

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  • Hochschulschrift

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