High resolution surface plasmon measurements - a sensitive probe for thickness and structural information of ultrathin films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
In: Process Module Metrology, Control and Clustering, Proceedings of SPIE1594 (1991). - S. 344-351

Classification
Physik

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Bibliothek der Universität Konstanz
(when)
2007
Creator
Albrecht, Uwe
Dilger, Herbert
Evers, Peter
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-31090
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:43 PM CET

Data provider

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  • Albrecht, Uwe
  • Dilger, Herbert
  • Evers, Peter
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Time of origin

  • 2007

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