Handbook of wafer bonding

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527326464
3527326464
Dimensions
25 cm
Extent
XXXI, 395 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
Wafer
Bonden
MEMS

Event
Veröffentlichung
(where)
Weinheim
(who)
Wiley-VCH-Verl.
(when)
2012
Contributor
Ramm, Peter
Lu, James Jian-Qiang
Taklo, Maaike M. V.

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Last update
11.06.2025, 2:24 PM CEST

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  • Lu, James Jian-Qiang
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  • Wiley-VCH-Verl.

Time of origin

  • 2012

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