Hochschulschrift
Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839602829
3839602823
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XIX, 105 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2011
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Leiterbahn
Kupfer
Galvanische Abscheidung
Nanoelektronik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Fraunhofer-Verl.
- (wann)
-
2011
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Fraunhofer CNT
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:43 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Liske, Romy
- Fraunhofer CNT
- Fraunhofer-Verl.
Entstanden
- 2011
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