Sol-Gel-Techniken für neue Materialien der Mikrotechnik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
In: Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1989. — (VDI-Berichte ; 796), S. 51-70

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Keyword
Mikrosystemtechnik ; Sol-Gel-Verfahren ; Keramischer Werkstoff ; Chemische Synthese ; Keramikpulver ; Photolithographie

Event
Veröffentlichung
(where)
Saarbrücken
(who)
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
(when)
2010
Creator

URN
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26468
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
06.12.0004, 10:46 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2010

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