- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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In: Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1989. — (VDI-Berichte ; 796), S. 51-70
- Classification
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
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Mikrosystemtechnik ; Sol-Gel-Verfahren ; Keramischer Werkstoff ; Chemische Synthese ; Keramikpulver ; Photolithographie
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Saarbrücken
- (who)
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Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
- (when)
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2010
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26468
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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06.12.0004, 10:46 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Schmidt, Helmut K.
- Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Time of origin
- 2010