- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
In: Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte; Tagung Berlin, 12. und 13. Oktober 1989. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1989. — (VDI-Berichte ; 796), S. 51-70
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Mikrosystemtechnik ; Sol-Gel-Verfahren ; Keramischer Werkstoff ; Chemische Synthese ; Keramikpulver ; Photolithographie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Saarbrücken
- (wer)
-
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
- (wann)
-
2010
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-26468
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:46 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Schmidt, Helmut K.
- Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Entstanden
- 2010
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