Hochschulschrift

Encapsulated micromachined resonant force sensor

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183338092
3183338092
Dimensions
21 cm
Extent
XVI, 145 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss.

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 338, Reihe 9

Keyword
Kraftsensor
Resonator
Gehäuse
Silicium
Einkristall
Mikrosystemtechnik

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
2001
Creator
Haueis, Martin

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Last update
11.03.2025, 12:02 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Haueis, Martin
  • VDI-Verl.

Time of origin

  • 2001

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