Elektrostatische Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosysteme

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2023

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Keyword
Mikrosystemtechnik
MEMS
Mikrosystemtechnik
MEMS
Elektrostatik
Sensortechnik
Aktorik

Event
Veröffentlichung
(where)
Bochum
(who)
Ruhr-Universität Bochum
(when)
2023
Creator
Contributor
Hoffmann, Martin
Witte, Hartmut
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:hbz:294-107152
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:51 PM CET

Data provider

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Associated

  • Thewes, Anna Christina
  • Hoffmann, Martin
  • Witte, Hartmut
  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
  • Ruhr-Universität Bochum

Time of origin

  • 2023

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