- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2023
- Classification
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
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Mikrosystemtechnik
MEMS
Mikrosystemtechnik
MEMS
Elektrostatik
Sensortechnik
Aktorik
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Bochum
- (who)
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Ruhr-Universität Bochum
- (when)
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2023
- Creator
- Contributor
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Hoffmann, Martin
Witte, Hartmut
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
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urn:nbn:de:hbz:294-107152
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:51 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Thewes, Anna Christina
- Hoffmann, Martin
- Witte, Hartmut
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Time of origin
- 2023