Hochschulschrift
Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832291891
- Dimensions
-
21 cm, 285 gr.
- Extent
-
XVIII, 167 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2010
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 11
- Keyword
-
Drucksensor
Herstellung
Dünnschichttechnik
Temperaturbeständigkeit
Hochtemperatur
Drucksensor
Temperaturbeständigkeit
Hochtemperatur
Dünnschichttechnik
Herstellung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:36 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Fricke, Sören
- Shaker
Time of origin
- 2010
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