Oxidation metallischer Nanofilme für single-use Vakuumsensorik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2011

Schlagwort
Oxidation
Sensor
Vakuum
Paneel
Oxidschicht
Oxidation
Vakuummessung
Dünnschichtwiderstand
Sensor
Einwegprodukt

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bochum
(wer)
Ruhr-Universität Bochum
(wann)
2011
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Kunze, Ulrich
Doll, Theodor
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:hbz:294-31611
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:33 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.

Beteiligte

  • Mäder, Sebastian
  • Kunze, Ulrich
  • Doll, Theodor
  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
  • Ruhr-Universität Bochum

Entstanden

  • 2011

Ähnliche Objekte (12)