Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
-
2520-8128
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
online resource.
- Bibliographic citation
-
Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces ; volume:4 ; number:3 ; day:18 ; month:8 ; year:2021 ; pages:175-180 ; date:9.2021
Nanomanufacturing and metrology ; 4, Heft 3 (18.8.2021), 175-180, 9.2021
- Creator
- Contributor
-
SpringerLink (Online service)
- DOI
-
10.1007/s41871-021-00114-6
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2021112706271043806339
- Rights
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:39 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Supreeti, Shraddha
- Schienbein, Ralf
- Feßer, Patrick
- Fern, Florian
- Hoffmann, Martin
- Sinzinger, Stefan
- SpringerLink (Online service)
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