- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783981878202
3981878205
- Dimensions
-
25 cm, 700 g
- Extent
-
205 Seiten
- Edition
-
1. Auflage
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Photoresist
Negativresist
Ätzen
Fotolithografie
Lack
Nassätzen
Trockenätzen
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ulm
- (who)
-
MicroChemicals GmbH
- (when)
-
2017
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:46 PM CEST
Data provider
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Associated
- Koch, Christian
- Rinke, Titus J.
- MicroChemicals GmbH
Time of origin
- 2017
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