Untersuchung von Mikrostrukturdefekten in GaAs mittels DSL-Ätzen und NIR-Mikroskopie

Hochschulschrift

Object Details

• Location: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISBN: 9783826530296 ; 3826530292
• Dimensions: 21 cm
• Extent: 118 S.
• Edition: Als Ms. gedr.
• Language: Deutsch
• Notes: Ill., graph. Darst. ; Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996

Classification and Topics

• Keyword: Galliumarsenid ; Gitterbaufehler ; Selektives Ätzen ; Infrarotmikroskopie ; EBIC-Verfahren

Contributors, Places and Time

• Event: Veröffentlichung
• (where): Aachen
• (who): Shaker
• (when): 1997
• Creator: Altmann, Anke

Further information

• Table of contents: https://d-nb.info/951727125/04
• Rights: Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
• Last update: 11.06.2025, 1:48 PM CEST