Untersuchung von Mikrostrukturdefekten in GaAs mittels DSL-Ätzen und NIR-Mikroskopie

Hochschulschrift

Angaben zum Objekt

• Standort: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISBN: 9783826530296 ; 3826530292
• Maße: 21 cm
• Umfang: 118 S.
• Ausgabe: Als Ms. gedr.
• Sprache: Deutsch
• Anmerkungen: Ill., graph. Darst. ; Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996

Klassifikation und Themen

• Schlagwort: Galliumarsenid ; Gitterbaufehler ; Selektives Ätzen ; Infrarotmikroskopie ; EBIC-Verfahren

Beteiligte, Orts- und Zeitangaben

• Ereignis: Veröffentlichung
• (wo): Aachen
• (wer): Shaker
• (wann): 1997
• Urheber: Altmann, Anke

Weitere Informationen

• Inhaltsverzeichnis: https://d-nb.info/951727125/04
• Rechteinformation: Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
• Letzte Aktualisierung: 11.06.2025, 13:48 MESZ