On the validity of the classical plasma conductivity in capacitive RF discharges

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Plasma sources science and technology, 31, 10, Artikel 105013, S. 105013-1-105013-15

Event
Veröffentlichung
(where)
Bochum
(who)
Ruhr-Universität Bochum
(when)
2022
Creator
Wang, Li
Vass, Máté
Lafleur, Trevor
Donkó, Zóltán
Song, Yuan-Hong
Schulze, Julian

URN
urn:nbn:de:hbz:294-121602
Rights
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Last update
15.08.2025, 7:35 AM CEST

Data provider

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Associated

  • Wang, Li
  • Vass, Máté
  • Lafleur, Trevor
  • Donkó, Zóltán
  • Song, Yuan-Hong
  • Schulze, Julian
  • Ruhr-Universität Bochum

Time of origin

  • 2022

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