Anfangsstadien der thermischen Nitridation der Silizium-(100)-Oberfläche unter Verwendung von Ammoniak und Stickstoffmonoxid
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IV, 103 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
München, Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Silicium
Kristallfläche
Siliciumnitrid
Dünne Schicht
Schichtwachstum
Photoelektronenspektroskopie
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:23 PM CEST
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