Hochschulschrift
Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik
- Alternative title
-
High-speed focal-distance-modulated confocal sensors for nano coordinate measuring systems
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
In: mb.fau.de/diss
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2021
- Bibliographic citation
-
FAU Studien aus dem Maschinenbau ; 370
- Keyword
-
Koordinatenmesstechnik
Nanometerbereich
Koordinatenmessgerät
Optisches System
Konfokaltechnik
Sensortechnik
Sensor
Koordinatenmesstechnik
Produktionstechnik
Maschinenbau
Berührungsloser Sensor
Ingenieurwissenschaften
Koordinatenmesstechnik
Sensor
Berührungsloser Sensor
Ingenieurwissenschaften
Maschinenbau
Produktionstechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Erlangen
- (who)
-
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
- (when)
-
2021
- Creator
- Contributor
-
Hausotte, Tino
Manske, Eberhard
Franke, Jörg
Hanenkamp, Nico
Merklein, Marion
Schmidt, Michael
Wartzack, Sandro
- DOI
-
10.25593/978-3-96147-436-3
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-169749
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:47 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Gröschl, Andreas
- Hausotte, Tino
- Manske, Eberhard
- Franke, Jörg
- Hanenkamp, Nico
- Merklein, Marion
- Schmidt, Michael
- Wartzack, Sandro
- Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Time of origin
- 2021
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