Hochschulschrift

Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik

Alternative title
High-speed focal-distance-modulated confocal sensors for nano coordinate measuring systems
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
In: mb.fau.de/diss
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2021

Bibliographic citation
FAU Studien aus dem Maschinenbau ; 370

Keyword
Koordinatenmesstechnik
Nanometerbereich
Koordinatenmessgerät
Optisches System
Konfokaltechnik
Sensortechnik
Sensor
Koordinatenmesstechnik
Produktionstechnik
Maschinenbau
Berührungsloser Sensor
Ingenieurwissenschaften
Koordinatenmesstechnik
Sensor
Berührungsloser Sensor
Ingenieurwissenschaften
Maschinenbau
Produktionstechnik

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2021
Creator
Contributor
Hausotte, Tino
Hausotte, Tino
Manske, Eberhard
Franke, Jörg
Hanenkamp, Nico
Hausotte, Tino
Merklein, Marion
Schmidt, Michael
Wartzack, Sandro

DOI
10.25593/978-3-96147-436-3
URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-169749
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:43 PM CET

Data provider

This object is provided by:
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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Gröschl, Andreas
  • Hausotte, Tino
  • Manske, Eberhard
  • Franke, Jörg
  • Hanenkamp, Nico
  • Merklein, Marion
  • Schmidt, Michael
  • Wartzack, Sandro
  • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Time of origin

  • 2021

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