Hochschulschrift
Entwicklung eines In-situ-Mess-und-Regelsystems für Halbleiterfertigungsprozesse am Beispiel der thermischen Oxidation von Silizium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783861115113
3861115115
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 144 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Prozessmesstechnik
Halbleitertechnologie
Schichtdicke
Dickenmessung
Silicium
Oxidation
Prozessregelung
Halbleitertechnologie
Schichtdicke
Dickenmessung
Silicium
Oxidation
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1993
- Creator
-
Schneider, Claus
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:14 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schneider, Claus
- Shaker
Time of origin
- 1993
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