Hochschulschrift
Flüchtige Metallamide als Vorstufen für die Gasphasenabscheidung : Synthese und Abbauchemie
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
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21 cm
- Umfang
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158 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
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Metallamide
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
- Urheber
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Klingan, Franz-Robert
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 14:27 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Klingan, Franz-Robert