Hochschulschrift

Analytische Beschreibung der Implantation von Ionen in Ein- und Mehrschichtstrukturen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783861119081
3861119080
Maße
21 cm
Umfang
131 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1994

Schlagwort
Ionenimplantation
Dünne Schicht
Ionenimplantation
Mehrschichtsystem

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1994
Urheber
Wierzbicki, Robert Jaroslaw

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:28 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Wierzbicki, Robert Jaroslaw
  • Shaker

Entstanden

  • 1994

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