- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183357093
3183357097
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
X, 229 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 196 - 228
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 357, Reihe 9
- Keyword
-
Nanostrukturiertes Material
Laserablation
Excimerlaser
Impulslaserbeschichten
Laserlithografie
Dünnschichttechnik
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:14 PM CEST
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- Gorbunoff, André
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2002
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