Hochschulschrift

Electromigration behavior of a multi-layer metallization

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896493064
389649306X
Dimensions
21 cm
Extent
X, 137 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1998

Bibliographic citation
Series in microelectronics ; Vol. 74

Keyword
CMOS
Zuverlässigkeit
Elektromigration
Metallisieren
Mikrostruktur
Oberflächenanalyse

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Hartung-Gorre
(when)
1998
Creator
Schönbächler, Edgar Arthur

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Last update
11.03.2025, 12:28 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Schönbächler, Edgar Arthur
  • Hartung-Gorre

Time of origin

  • 1998

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