Aufsatzsammlung

Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527335459
3527335455
Dimensions
24 cm
Extent
XXV, 483 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Bibliographic citation
Advanced micro & nanosystems ; Vol. 11

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
MEMS
Nanoelektromechanik
Resonator

Event
Veröffentlichung
(where)
Weinheim
(who)
Wiley-VCH-Verl.
(when)
2015
Contributor
Brand, Oliver
Dufour, Isabelle
Heinrich, Stephen M.
Josse, Fabien
Fedder, Gary K.
Hierold, Christofer
Korvink, Jan G.
Tabata, Osamu

Table of contents
Rights
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Last update
11.06.2025, 1:58 PM CEST

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Object type

  • Aufsatzsammlung

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  • Brand, Oliver
  • Dufour, Isabelle
  • Heinrich, Stephen M.
  • Josse, Fabien
  • Fedder, Gary K.
  • Hierold, Christofer
  • Korvink, Jan G.
  • Tabata, Osamu
  • Wiley-VCH-Verl.

Time of origin

  • 2015

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