Field assisted sintering of yttria ceramics for plasma etching applications

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2021 (Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt = energy & environment; 553)
RWTH Aachen University, Dissertation, 2021

Schlagwort
Plasma etching
Ceramics

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Guillon, Olivier
Mayer, Joachim

DOI
10.18154/RWTH-2021-10137
URN
urn:nbn:de:101:1-2022012002273314225888
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:48 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2021

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