Simulation model simplification in semiconductor manufacturing

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Dresden, Technische Universität Dresden, Dissertation, 2021

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Technische Universität Dresden
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-766643
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:46 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2021

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