Hochschulschrift
Geometrie-Charakerisierung von Halbleiter-Mikrostrukturen mittels Infrarot-Strahlung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
120 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2014
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:17 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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