Hochschulschrift
Anwendung der Plasma-Randschichttheorie zur Modellierung von RF-Niederdruck-Gasentladungen und Reaktordesign : Theorie und Experiment
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
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21 cm
- Extent
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106 S.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Stuttgart, Univ., Diss., 1995
- Keyword
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Hochfrequenzentladung
Niederdruckentladung
Plasma-Wand-Wechselwirkung
Berechnung
- Creator
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Schwarz, Jürgen
- Table of contents
- Rights
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Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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11.06.2025, 1:57 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schwarz, Jürgen