Hochschulschrift
Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung für die Röntgentiefenlithografie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
113 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1989
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Bonn
- (who)
-
Physikal. Inst.
- (when)
-
1989
- Creator
-
Maid, Britta
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:00 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Maid, Britta
- Physikal. Inst.
Time of origin
- 1989
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