Silicon-oxide-like thin film deposition from hexamethyldisiloxane by means of non-equilibrium atmospheric pressure plasmas : the role of oxygen and surface reactions
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2012
- Schlagwort
-
Niederdruckplasma
Plasmadiagnostik
Gasentladung
Mikroplasma
Plasmachemie
Atmosphärendruckplasma
Beschichtung
Quarz
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2012
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-35767
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 14.08.2025, 10:57 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Reuter, Rüdiger
- Keudell, Achim von
- Awakowicz, Peter
- Fakultät für Physik und Astronomie
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2012
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