Additive Nano-Lithography with Focused Soft X-rays: Basics, Challenges, and Opportunities

Sprache
Englisch
Identifier
1203374895

Beteiligte Personen und Organisationen
Späth, Andreas

DOI
10.3390/mi10120834
URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:52 MEZ

Beteiligte


  • Späth, Andreas

Ähnliche Objekte (12)