Hochschulschrift
Chemische Nanolithographie mit Elektronenstrahlen an Biphenyl-Monoschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
130 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Monoschicht
Biphenylderivate
Elektronenstrahllithografie
Photoresist
Gold
Substrat
Monoschicht
Biphenylderivate
Elektronenstrahllithografie
Elektronendichte
Silicium
Halbleitersubstrat
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:37 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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