Hochschulschrift
Chemische Nanolithographie mit Elektronenstrahlen an Biphenyl-Monoschichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
130 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 2001
- Keyword
-
Monoschicht
Biphenylderivate
Elektronenstrahllithografie
Photoresist
Gold
Substrat
Monoschicht
Biphenylderivate
Elektronenstrahllithografie
Elektronendichte
Silicium
Halbleitersubstrat
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:37 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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