Hochschulschrift
Verfahren zur Bestimmung der Dotierungsdichteverteilung in Siliziumscheiben mit dem Raster-Elektronenmikroskop
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
[7], 118 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1980
- Schlagwort
-
Dotierung
Silizium
Dotierung
Silicium
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:04 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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