Entwicklung eines Messverfahrens zur Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit von dünnen Schichten

Alternative title
Development of a method for determination of the thermal conductivity of thin layers
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2019

Keyword
Dünne Schicht
Anisotroper Stoff
Wärmeleitfähigkeit
3-Omega-Mikroskopie
Aluminiumnitrid
Temperaturabhängigkeit
Temperaturbeständigkeit
Polymerfilm
Dünne Schicht
Thermodynamische Eigenschaft
Wärmeleitfähigkeit
Thermische Belastung
Messung
Elektrische Leitfähigkeit

Event
Veröffentlichung
(where)
Duisburg, Essen
(who)
Universität Duisburg-Essen
(when)
2019
Creator
Contributor

DOI
10.17185/duepublico/70052
URN
urn:nbn:de:hbz:464-20190402-085904-0
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:53 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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