Influence of moisture on the ferroelectric properties of sputtered hafnium oxide thin films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: 10.1063/5.0171345

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2023
Creator
Berg, Fenja
Kopperberg, Nils
Lübben, J.
Valov, Ilia
Wu, Xiaochao
Simon, Ulrich
Böttger, Ulrich

DOI
10.18154/RWTH-2024-02424
URN
urn:nbn:de:101:1-2024040502134264616436
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:52 PM CET

Data provider

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  • Berg, Fenja
  • Kopperberg, Nils
  • Lübben, J.
  • Valov, Ilia
  • Wu, Xiaochao
  • Simon, Ulrich
  • Böttger, Ulrich
  • Universitätsbibliothek der RWTH Aachen

Time of origin

  • 2023

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